[文章導讀] 等離子表面處理機非平衡等離子體一般是在較低氣壓下產生的，這時的分子間距較大，電子在空間長距離被加速

等離子體是一個開放的、由外加能量作用于分子態氣體而持續產生活潑的非分子態粒子的流動體系。等離子表面處理機（點擊了解詳情）中等離子體電子和離子的能量狀態一般分為T_e≈T_i和T_e?T_i（電子溫度Te和

離子溫度Ti）兩種情況。前者稱為平衡態等離子體或高溫等離子體，后者稱為非平衡態等離子體或低溫等離子體。

等離子表面處理機非平衡等離子體一般是在較低氣壓下產生的，這時的分子間距較大，電子在空間長距離被加速，動能很容易達到10～20eV的高能量。等離子表面處理機這種被加速的電子與氣體分子發生非彈性碰撞，使分子軌道斷裂，從而使分子激發、離解、電離，生成大量的基態或激發態的原子和帶電粒子等。在這種情況下，電子具有較高的動能而其他重粒子的溫度較低，體系處于非平衡態。等離子表面處理機非平衡態等離子體中的粒子具有很高的化學活性，利用等離子態氫還原金屬氧化物，特別是為還原高熔點極難還原的金屬氧化物提供了一種潛在的可能途徑。

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