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    等離子體發生器的放電原理

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    瀏覽:- 發布日期:2018-03-26 14:20:33【

    [文章導讀] 等離子體發生器的兩類等離子體各有特點和用途。

    等離子體發生器利用外加電場或高頻感應電場使氣體導電,稱為氣體放電。氣體放電是等離子體發生器產生等離子體的重要手段之一。


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    等離子發生器(點擊了解詳情)被外加電場加速的部分電離氣體中的電子與中性分子碰撞,把從電場得到的能量傳給氣體。電子與中性分子的彈性碰撞導致分子動能增加,表現為溫度升高;而非彈性碰撞則導致激發(分子或原子中的電子由低能級躍遷到高能級)、離解(分子分解為原子)或電離(分子或原子的外層電子由束縛態變為自由電子)。


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    高溫氣體通過傳導、對流和輻射把能量傳給周圍環境,在定常條件下,給等離子體發生器定容積中的輸入能量和損失能量相等。電子和重粒子(離子、分子和原子)間能量傳遞的速率與碰撞頻率(單位時間內碰撞的次數)成正比。在稠密氣體中,碰撞頻繁,兩類粒子的平均動能(即溫度)很容易達到平衡,因此等離子發生器電子溫度和氣體溫度大致相等,這是氣壓在一個大氣壓以上時的通常情況,一般稱為熱等離子體或平衡等離子體。


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    在低氣壓條件下,碰撞很少,電子從電場得到的能量不容易傳給重粒子,此時電子溫度高于氣體溫度,通常稱為冷等離子體或非平衡等離子體。等離子體發生器的兩類等離子體各有特點和用途。

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