[文章導讀] 等離子表面處理機刻蝕，是干法刻蝕中最常見的一種形式。等離子表面處理機刻蝕是在等離子體存在的條件下，通過平面曝光、濺射、化學反應、輔助能量離子（或電子）與模式轉換等方式，精確可控地除去襯底表面上一定深度的薄膜物質而留下不受影響的溝槽邊壁上的物質的一種加工過程

      等離子表面處理機（點擊了解詳情），又叫等離子清洗機等。有等離子刻蝕功能，是干法刻蝕中最常見的一種形式。等離子表面處理機是在等離子體存在的條件下，通過平面曝光、濺射、化學反應、輔助能量離子（或電子）與模式轉換等方式，精確可控地除去襯底表面上一定深度的薄膜物質而留下不受影響的溝槽邊壁上的物質的一種加工過程，該過程通常是各向異性的，而且是按直線方向進行的。

     等離子表面處理機可應用于所有的基材，甚至復雜的幾何構形都可以進行等離子體活化、等離子體清洗，等離子刻蝕，等離子體鍍膜也毫無問題。等離子表面處理機運作時的熱負荷及機械負荷都很低，因此，低壓等離子體也能處理敏感性材料。等離子表面處理機刻蝕的材料主要分為金屬材料和硅。等離子表面處理機刻蝕一般都工作在低氣壓的條件下。在低氣壓下，氣體分子密度降低，電子自由度增加，因而電子在每兩次碰撞之間的加速度能量增加，使電離幾率增加。

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