[文章導讀] 在納米測量系統中，被測物與探測系統之間一般要產生相對運動才能測出所需參數。

從納米技術的發展來看，納米測量技術的地位和作用是不容忽視的。納米加工和制造離不開納米測量。精密計量已不能適應納米技術發展的要求，而且成為了納米技術發展的瓶頸。因此納米測量技術和測量裝置不僅是21世紀納米技術實用過程中必須關注的焦點，而且也是21世紀計量測試領域研究的重中之重。一般來說，一套完整的納米測量系統（點擊了解詳情）應該由四部分組成，即探測系統、位移系統、計量系統和信號處理及控制系統。

目前納米測量系統的種類繁多，比較新型的主要有：掃描電鏡、共焦顯微鏡和掃描探針顯微鏡（SPM）。其中SPM可以對被測表面及近表面區域的物理特性在原子量級的水平上進行探測，位置分辨率非常高，如掃描隧道顯微鏡和原子力顯微鏡可以達到亞納米級的分辨率。

在納米測量系統中，被測物與探測系統之間一般要產生相對運動才能測出所需參數。位移系統的作用就是產生探針相對于樣品的掃描運動，它是整個納米探測系統的基礎結構框架，是其中最基礎的部分。對于小范圍位移，納米測量應用比較多的是壓電陶瓷驅動器與基于柔性鉸鏈機構的微動工作臺組成的位移系統。對于大范圍的位移，驅動器通常有直線伺服電機，直接直線驅動等，也有采用伺服電機加絲杠螺母的，導軌一般采用氣浮、磁浮或滑動的形式。

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