[文章導讀] （原位SEMFIB納米力學性能測試系統）然而復合材料各成分及其界面處的機械性能的表征依舊是難點。

先進鋼鐵的系統開發要求對其復雜的多相微觀結構和性能進行定量表征。此外，先進多相鋼鐵材料的綜合性能由每種成分在材料中的體積分數和各自的性能決定。（原位SEMFIB納米力學性能測試系統）(點 擊了解詳情)

各種成分的體積分數可以用先進的可視化技術來量化，例如SEM原位電子背向散射衍射（EBSD）技術。（原位SEMFIB納米力學性能測試系統）然而復合材料各成分及其界面處的機械性能的表征依舊是難點。

一般每種成分和界面先用EBSD進行識別，然后用聚焦離子束光刻技術從研究區域切割出微柱。第二步即可用納米力學測試系統進行力學性能測試。（原位SEMFIB納米力學性能測試系統）然而介于樣品的微小尺寸，（原位SEMFIB納米力學性能測試系統）納米力學測試系統必須具備一下特殊的技術功能：

- 能夠以極高的分辨率向小樣品上加載力，以檢測純滑移詳細

- 在SEM真空腔內的有限空間內實現高分辨率成像

- 以亞納米分辨率檢測和量化樣品形變，以測定滑移移動

- 能夠以足夠高的頻率對力和位置數據進行采樣以解決每個滑移事件

FT-NMT03原位SEMFIB納米力學性能測試系統可以在SEM/FIB內對微柱機械性能進行直接精確的測量。（原位SEMFIB納米力學性能測試系統）采用微力傳感器加載載荷配合高精度位置編碼器可以對微柱形變行為進行壓縮、循環、蠕變或斷裂測試。

（原位SEMFIB納米力學性能測試系統）通過力-形變（應力-應變）曲線，可以材料的機械性能進行分析。此外還可獲得材料塑性形變機制和強化機制的具體觀測信息。

快速高分辨力傳感器

Femtotools已經研發出一種基于微芯片的力傳感技術，提供無與倫比的測試性能。得益于微小、微芯片傳感元件，使這種傳感技術能夠達到非常高的靈敏度，并確保測力的噪聲在亞納牛級別。（原位SEMFIB納米力學性能測試系統）而且傳感元件的體量非常小，從而使得共振非常高（即可以高頻率測量力。）除此以外，傳感器以單晶硅為基材，確保了整個生命周期內優越的長期穩定性和可重復性輸出。

可在SEM的最小工作距離下測量

為獲得最好的SEM/FIB成像質量，能在最小工作距離下工作是非常重要的?；谛酒奈⒘鞲刑结樖沟脵C械測試能在近至4mm的工作距離下進行，（原位SEMFIB納米力學性能測試系統）并且不與SEM磁極片產生沖突。

SEM/FIB集成

得益于FT-NMT03納米力學測試系統的緊湊尺寸（71×100×35mm），該系統可以與市面上絕大多數的全尺寸SEM/FIB結合使用，在樣品臺上安裝和拆卸該系統十分簡便，僅需幾分鐘。（原位SEMFIB納米力學性能測試系統）

此外，由于FT-NMT03的獨特設計（無基座、開放式），該系統可以和電子背向散射衍射儀（EBSD）和掃描透射電子顯微鏡（STEM）技術兼容。（原位SEMFIB納米力學性能測試系統）

應用舉例：微柱體中剪切帶的定量表征

針對高輻射環境下，如原子核反應堆和太空中，使用的材料，定量分析輻射對負載材料的力學影響是非常有必要的。SEM原位納米力學性能測試系統能夠對微柱體進行壓縮測試，并高分辨地記錄應力-應變曲線。左圖顯示了經受強輻射后的微柱體塑性變形的形貌以及應力-應變曲線。 （原位SEMFIB納米力學性能測試系統）

壓縮的微柱經過線性彈性區間后(a)，可以觀測到樣品的宏觀屈服和局部剪切形核(b)。隨著應變的增大，剪切帶進一步擴展直至柱體表面，此時應力驟降(c)。隨后，應力的小幅降低來源于原子平面的平行滑移(d)。（原位SEMFIB納米力學性能測試系統）

應用舉例：CNT柱的單軸壓縮測試

平行排列的碳納米管(CNT)柱在柔性電池、熱界面材料和3D超級電容器方面有很大的應用潛能。這些CNT柱的力學性能不僅與單個的CNT力學性能有關，而且與CNT的排布密度和管與管間的相互作用力有關。（原位SEMFIB納米力學性能測試系統）右圖顯示了單軸壓縮實驗表征CNT柱的力學性能。首先，將微力傳感探針和樣品臺上的CNT柱精確對準(a)。然后，對CNT柱施加預定的載荷，測試系統記錄力和位移數據，同時通過SEM獲得微結構形變的高分辨圖像(b)。（原位SEMFIB納米力學性能測試系統）用戶可實時跟蹤柱體的塑性變形(c)以及載荷釋放后柱體的應力松弛過程(d)。

結論

原位SEM微柱壓縮實驗可用作多相鋼鐵材料中各成分機械性能的定量分